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场发射扫描电子显微镜实验室

发布时间:2014-05-24
    仪器名称:场发射扫描电子显微镜
    品牌及型号:德国 ZEISS & ULTRA PLUS
    仪器位置:矿产资源研究所118室
    主要技术指标
    加速电压:0.1~30kV
    束流范围:4 pA -20 nA
    放大倍数:12X-1,000,000X (SE mode)
    100X-1,000,000 (BSE mode)
    二次电子像分辨率:1.0nm(15kV),1.9nm(1kV)
    仪器原理介绍:场发射扫描电镜是利用聚焦电子束与样品表面作用产生的二次电子、背散射电子等物理信号得到表面形貌图像以及样品相关信息。该电镜适用于分析和观察样品表面及近表面形貌及结构;其较高的电子束流,与X射线能谱仪相结合,对样品的组成、表面结构进行分析研究。
    仪器应用:岩石或矿物形貌的观察和分析、岩石或矿物中多相固体包裹体、矿物成分分析(点分析、线扫描及面扫描)。
    主要附件:X射线能谱仪(EDS)简介
    品牌型号:Oxford IE350 X-Max型电制冷能谱仪
    主要技术指标:
    分辨率:优于129eV(MnKα,20000cps);
    稳定性:1000cps~50000 cps时,谱峰漂移<1eV(Mn Kα);
    峰背比:20000:1;
    分析元素范围:Be4~U92。
    仪器原理:用细聚焦电子束入射样品表面,激发出样品微区(微米级)元素的特征X射线,分析特征X射线的或特征能量即可知道微区中所含元素的种类(定性分析), 分析X射线的强度,则可知道微区中对应元素含量的多少(半定量分析)。
主要用途:元素的定性分析、线、面分布等。IE350 X-Max型电制冷能谱仪,配备的INCA Energy软件具有图像及成分图的分析系统。可对固体岩石(矿物)样品的表面进行成分的定性和半定量分析,并在样品表面做元素的面、线、点分布分析。
                
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